メタルCMPスラリーの成分

メタルCMPスラリーは、主に酸化剤として硝酸鉄（Fe(NO3)2）、過酸化水素水（H2O2）、及びヨウ素酸カリウム（KIO3）を含み、pHは約2から4の範囲です。また、砥粒には粒径0.5μmのアルミナが使用されています。